微波等離子清洗機與射頻等離子清洗機的主要區別是等離子體的激發頻率不一樣，微波等離子清洗機用的等離子體激發頻率是2.45GHz而射頻等離子清洗機用的等離子體激發頻率為13.56MHz。正是因為兩者所用的等離子體激發頻率不一樣所以清洗的適用對象也不一樣，下面就講一下微波等離子清洗機與射頻等離子清洗機的主要區別。

射頻等離子清洗機與微波等離子清洗機區別如下：

13.56MHz等離子體為射頻等離子體，發生反應為物理和化學反應；頻率達到2.45GHz的等離子體為微波等離子體，離子濃度最高，發生反應為化學反應，典型的工藝是氧氣或氫氣等離子體工藝。用氧等離子通過化學反應，能夠使非揮發性有機物變成易揮發性的CO2和水蒸氣，去除沾污物，使表面清潔；用氫等離子可通過化學反應去除金屬表面氧化層，清潔金屬表面。

微波等離子清洗機與低頻或射頻放電產生的等離子體相比，它的特點是沒有正負電極，自偏壓很小，不會產生放電污染，有效防止靜電損傷；等離子密度高，生產效率高；離子運動沖擊小，不會產生UV（紫外線）輻射，尤其適用于一些敏感電路的制程清洗。

等離子清洗機激發頻率和自偏壓的關系

正是因為具有以上優點，微波等離子在一些工藝中具有不可替代性，例如一些電敏感器件制程中的去膠和清洗。由于激發頻率高，離子動能小，化學等離子作用在微波等離子中占主要部分，可以實現更均勻有效地清洗，在清洗中沒有物理等離子體所產生的物理沖擊和濺射現象，在高可靠性要求的器件尤其是軍用器件生產工藝過程中，微波等離子清洗機成為關鍵首選的設備。